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  • SAMD系列多弧磁場電源

    SAMD系列多弧磁場電源

    規格參數

    SAMD系列多弧磁場電源技術規格

    SAMD系列多弧磁場電源工作于高頻變換模式,單極脈沖方式輸出,電壓、頻率、占空比獨立調整。SAMD系列電源主要用于多弧離子鍍膜弧靶前的動態磁場掃描,改善等離子體放電角度,加快弧斑運動速度,減少液滴形成。

    電源功率范圍

    6-60kW

    輸入電源

    AC380V±10%三相四線制 50-60HZ

    輸出方式

    脈沖

    脈沖寬度

    10-90%

    脈沖頻率

    1-50HZ

    輸出電壓

    空載60V

    輸出電流穩定率

    0.5%

    冷卻方式

    6-12kW風冷20-60kW水冷

    使用環境

    環境溫度 0-40℃
    環境濕度 相對濕度≤85%
    空氣清潔 無粉塵 無腐蝕性易燃性氣體 通風良好

    冷卻水

    清潔 不含礦物質及其他可溶性物質
    水溫 20-40℃
    壓力 0.15±0.05MPa

    通訊方式

    RS485/RS232

    說明:電源的輸出特性可根據使用需要作相應調整

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