SAMD系列多弧磁場電源技術規格

SAMD系列多弧磁場電源工作于高頻變換模式，單極脈沖方式輸出,電壓、頻率、占空比獨立調整。SAMD系列電源主要用于多弧離子鍍膜弧靶前的動態磁場掃描，改善等離子體放電角度，加快弧斑運動速度，減少液滴形成。

電源功率范圍

6-60kW

輸入電源

AC380V±10％三相四線制 50-60HZ

輸出方式

脈沖

脈沖寬度

10-90％

脈沖頻率

1-50HZ

輸出電壓

空載60V

輸出電流穩定率

0.5％

冷卻方式

6-12kW風冷20-60kW水冷

使用環境

環境溫度 0-40℃
環境濕度 相對濕度≤85％
空氣清潔 無粉塵 無腐蝕性易燃性氣體 通風良好

冷卻水

清潔 不含礦物質及其他可溶性物質
水溫 20-40℃
壓力 0.15±0.05MPa

通訊方式

RS485/RS232

說明：電源的輸出特性可根據使用需要作相應調整