SIC II系列陽極層型離子源電源技術規格

SIC II系列離子源電源用于陽極層型離子源的工作電源，電源提供了不同工作時段所需的陽極電壓。SIC II系列離子源電源采用高頻開關方式，具有良好的穩定性及較高的工作效率

電源功率范圍

5-15kW

輸入電源

AC380V±10％三相四線制 50-60Hz

陽極電源電壓

空載DC0-1000V,DC0-3000V

陽極電源電流

DC0-15A,0-5A

輸出穩定率

1％

冷卻方式

風冷

使用環境

環境溫度 0-40℃
環境濕度 相對濕度≤85％
空氣清潔 無粉塵 無腐蝕性易燃性氣體 通風良好

通訊方式

模擬/RS485/RS232

說明：電源的輸出特性可根據使用需要作相應調整