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  • SSIII系列直流脈沖磁控濺射電源

    SSIII系列直流脈沖磁控濺射電源

    規格參數

    SSIII系列直流脈沖磁控濺射電源技術規格

    SS III系列磁控濺射電源工作于二級高頻變換模式,單極脈沖方式輸出,電源的電流與脈沖寬度獨立調整。脈沖方式工作時,濺射靶工作于高頻率間歇狀態,使靶材表面積累電荷有一定的泄放時間,有利于抑制靶材弧光放電及表面中毒,適用反應濺射膜層。

    電源功率范圍

    6-120kW

    輸入電源

    AC380V±10%三相四線制 50-60HZ

    輸出方式

    脈沖

    脈沖寬度

    10-90%

    輸出電壓

    空載1000V[峰值電壓]

    輸出特性

    恒流/恒功率/恒壓

    滅弧時間

    ≤3μs

    輸出穩定率

    0.5%

    冷卻方式

    6-12kW風冷 20-120kW水冷

    使用環境

    環境溫度 0-40℃
    環境濕度 相對濕度≤85%
    空氣清潔 無粉塵 無腐蝕性易燃性氣體 通風良好

    冷卻水

    清潔 不含礦物質及其他可溶性物質
    水溫 20-40℃
    壓力 0.15±0.05MPa

    通訊方式

    模擬/RS485/RS232

    說明:電源的輸出特性可根據使用需要作相應調整

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