SS II系列直流磁控濺射電源技術規格

SS II系列磁控濺射電源工作于高頻變換模式，直流輸出,電源電流調整通過改變高頻變換的脈沖寬度來實現。電源具有良好的負載特性，性價比高，適用于金屬及部分反應膜層環境使用。

電源功率范圍

2-120kW

輸入電源

AC380V±10％三相四線制 50-60Hz

輸出方式

直流

輸出電壓

空載900V

輸出特性

恒流/恒功率/恒壓

滅弧時間

≤20μs

輸出穩定率

0.5％

冷卻方式

2-12kW風冷 20-120kW水冷

使用環境

環境溫度 0-40℃
環境濕度 相對濕度≤85％
空氣清潔 無粉塵 無腐蝕性易燃性氣體 通風良好

冷卻水

清潔 不含礦物質及其他可溶性物質
水溫 20-40℃
壓力 0.15±0.05MPa

通訊方式

模擬/RS485/RS232

說明：電源的輸出特性可根據使用需要作相應調整