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  • SSII系列直流磁控濺射電源

    SSII系列直流磁控濺射電源

    規格參數

    SS II系列直流磁控濺射電源技術規格

    SS II系列磁控濺射電源工作于高頻變換模式,直流輸出,電源電流調整通過改變高頻變換的脈沖寬度來實現。電源具有良好的負載特性,性價比高,適用于金屬及部分反應膜層環境使用。

    電源功率范圍

    2-120kW

    輸入電源

    AC380V±10%三相四線制 50-60Hz

    輸出方式

    直流

    輸出電壓

    空載900V

    輸出特性

    恒流/恒功率/恒壓

    滅弧時間

    ≤20μs

    輸出穩定率

    0.5%

    冷卻方式

    2-12kW風冷 20-120kW水冷

    使用環境

    環境溫度 0-40℃
    環境濕度 相對濕度≤85%
    空氣清潔 無粉塵 無腐蝕性易燃性氣體 通風良好

    冷卻水

    清潔 不含礦物質及其他可溶性物質
    水溫 20-40℃
    壓力 0.15±0.05MPa

    通訊方式

    模擬/RS485/RS232

    說明:電源的輸出特性可根據使用需要作相應調整

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