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SSTH中頻磁控濺射電源
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SSTH系列中頻磁控濺射電源技術規格 |
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SSTH系列中頻磁控濺射電源工作于二級高頻變換模式，交流40kHz輸出。中頻濺射電源以兩個濺射靶作為負載，雙靶交替工作，因此工作周期內每個濺射靶有一半以上的時間為反向電壓，使靶材表面積累電荷充分泄放，有利于抑制靶材弧光放電及表面中毒。SSTH系列中頻磁控濺射電源具備獨特的電弧抑制功能，有效克服電弧對膜層造成的瑕疵，預警系統實時顯示電源工作狀態，以便及時排除潛在問題。電源特別適用于大功率反應濺射膜層，如Low-E玻璃生產線及金屬非金屬卷繞鍍膜使用 |
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電源功率范圍 |
30-120kW |
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輸入電源 |
AC380V±10％三相四線制 50-60HZ |
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輸出方式 |
準正弦波 |
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輸出頻率 |
40kHZ |
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輸出電壓 |
空載1200V[有效值] |
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輸出特性 |
恒流/恒壓/恒功率 |
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滅弧時間 |
≤3μs |
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輸出穩定率 |
0.5％ |
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負載持續率 |
100% |
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冷卻方式 |
水冷 |
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使用環境 |
環境溫度 0-40℃ |
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冷卻水 |
清潔 不含礦物質及其他可溶性物質 |
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通訊方式 |
模擬/RS485/RS232 |
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說明：電源的輸出數據可根據使用需要作相應調整 |
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冀ICP備19010580號-2
