SST系列中頻磁控濺射電源技術規格

      SST系列中頻磁控濺射電源工作于二級高頻變換模式，交流輸出頻率40kHz。中頻濺射電源以兩個濺射靶作為負載，雙靶交替工作，因此工作周期內每個濺射靶有一半以上的時間為反向電壓，使靶材表面積累電荷充分泄放，有利于抑制靶材弧光放電及表面中毒，特別適用于反應膜層環境使用。

電源功率范圍

2-120kW

輸入電源

AC380V±10％三相四線制 50-60HZ

輸出方式

準正弦波

輸出頻率

40kHz

輸出電壓

空載1200V[有效值]

輸出特性

恒流/恒功率/恒壓

滅弧時間

≤3μs

輸出穩定率

1％

冷卻方式

2-10kW風冷 20-120kW水冷

使用環境

環境溫度 0-40℃
環境濕度 相對濕度≤85％
空氣清潔 無粉塵 無腐蝕性易燃性氣體 通風良好

冷卻水

清潔 不含礦物質及其他可溶性物質
水溫 20-40℃
壓力 0.15±0.05MPa

通訊方式

模擬/RS485/RS232

說明：電源的輸出特性可根據使用需要作相應調整