<object id="eewcm"></object>
SH系列空心陰極電源
|
SH系列空心陰極電源技術規格 |
|
|
本電源系統用于以空心熱陰極等離子電子束蒸發源（HCD槍）實現金屬材料蒸發的電源設備，采用高頻開關技術,系統集成度高,工作效率高,性能穩定。獨特的數字面板編程控制方式使得工藝控制更加精確。 |
|
|
系統組成 |
|
|
引束電源 |
用于空心陰極產生等離子體電子束的誘導電源 |
|
主束電源 |
用于維持空心陰極產生等離子體電子束的工作電源，高密度等離子體電子束轟擊靶材使其蒸發 |
|
工作要求 |
|
|
輸入電源 |
AC380V±10％三相四線制 50-60Hz |
|
使用環境 |
環境溫度 0-40℃ |
|
冷卻水要求 |
清潔 不含礦物質及其他可溶性物質 |
|
主束電源性能參數 |
|
|
電源功率范圍 |
10-30kW |
|
輸出電壓 |
空載150V |
|
輸出電流穩定率 |
1% |
|
冷卻方式 |
10kW風冷 15- 30kW水冷 |
|
通訊方式 |
模擬/RS485/RS232 |
|
引束電源性能參數 |
|
|
輸出功率等級 |
6-30kW |
|
輸出電壓 |
空載800V |
|
輸出電流穩定率 |
1% |
|
冷卻方式 |
風冷 |
|
說明：電源的輸出特性可根據使用需要作相應調整 |
|
冀ICP備19010580號-2
