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  • SHII系列空心陰極電源

    SHII系列空心陰極電源

    規格參數

    SH II系列空心陰極電源技術規格

    本電源系統用于以空心熱陰極等離子電子束蒸發源(HCD槍)實現金屬材料蒸發的電源設備,采用高頻開關技術,系統集成度高,工作效率高,性能穩定。

    系統組成

    引束電源

    用于空心陰極產生等離子體電子束的誘導電源

    主束電源

    用于維持空心陰極產生等離子體電子束的工作電源,高密度等離子體電子束轟擊靶材使其蒸發

    聚焦電源

    用于聚焦及偏轉電子束,修正電子束與靶材的位置關系

    槍集束電源

    用于初步聚焦電子槍電子束

    工作要求

    輸入電源

    AC380V±10%三相四線制 50-60Hz

    使用環境

    環境溫度 0-40℃
    環境濕度 相對濕度≤85%
    空氣清潔 無粉塵 無腐蝕性易燃性氣體 通風良好

    冷卻水要求

    清潔 不含礦物質及其他可溶性物質
    水溫 20-40℃
    壓力 0.15±0.05MPa

    通訊方式

    模擬/RS485/RS232

    主束電源性能參數

    電源功率范圍

    10-30kW

    輸出電壓

    空載150V

    輸出電流穩定率

    1%

    冷卻方式

    10kW風冷     15-30kW水冷

    引束電源性能參數

    電源功率范圍

    6-12kW

    輸出電壓

    空載800V

    輸出電流穩定率

    1%

    冷卻方式

    風冷

    聚焦電源性能參數

    電源功率范圍

    2kW

    輸出電壓

    空載100V

    輸出電流穩定率

    1%

    冷卻方式

    風冷

    槍集束電源性能參數

    電源功率范圍

    300W

    輸出電壓

    15V

    輸出電流穩定率

    1%

    冷卻方式

    風冷

    說明:電源的輸出特性可根據使用需要作相應調整

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