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SHII系列空心陰極電源
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SH II系列空心陰極電源技術規格 |
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本電源系統用于以空心熱陰極等離子電子束蒸發源（HCD槍）實現金屬材料蒸發的電源設備，采用高頻開關技術,系統集成度高，工作效率高,性能穩定。 |
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系統組成 |
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引束電源 |
用于空心陰極產生等離子體電子束的誘導電源 |
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主束電源 |
用于維持空心陰極產生等離子體電子束的工作電源，高密度等離子體電子束轟擊靶材使其蒸發 |
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聚焦電源 |
用于聚焦及偏轉電子束，修正電子束與靶材的位置關系 |
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槍集束電源 |
用于初步聚焦電子槍電子束 |
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工作要求 |
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輸入電源 |
AC380V±10％三相四線制 50-60Hz |
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使用環境 |
環境溫度 0-40℃ |
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冷卻水要求 |
清潔 不含礦物質及其他可溶性物質 |
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通訊方式 |
模擬/RS485/RS232 |
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主束電源性能參數 |
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電源功率范圍 |
10-30kW |
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輸出電壓 |
空載150V |
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輸出電流穩定率 |
1% |
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冷卻方式 |
10kW風冷 15-30kW水冷 |
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引束電源性能參數 |
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電源功率范圍 |
6-12kW |
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輸出電壓 |
空載800V |
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輸出電流穩定率 |
1% |
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冷卻方式 |
風冷 |
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聚焦電源性能參數 |
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電源功率范圍 |
2kW |
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輸出電壓 |
空載100V |
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輸出電流穩定率 |
1% |
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冷卻方式 |
風冷 |
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槍集束電源性能參數 |
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電源功率范圍 |
300W |
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輸出電壓 |
15V |
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輸出電流穩定率 |
1% |
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冷卻方式 |
風冷 |
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說明：電源的輸出特性可根據使用需要作相應調整 |
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冀ICP備19010580號-2
