BOMB VS系列直流疊加脈沖偏壓電源技術規格

BOMB VS系列偏壓電源工作于二級高頻變換模式，有單極脈沖、直流疊加脈沖、低壓直流三種輸出方式，主電源電壓、副電源電壓、脈沖寬度獨立調整。靈活的輸出方式適用于工具膜、裝飾膜以及工藝開發等多種應用環境，特別是直流疊加脈沖的方式，在控制工件溫度的同時，本底直流電壓有效維持了偏壓的連續狀態，對工具鍍膜十分有利。

電源功率范圍

10-80kW [不包括副電源]

輸入電源

AC380V±10％三相四線制 50-60HZ

輸出方式

脈沖/ 直流疊加脈沖/低壓直流

輸出電壓

0-180V 0-500V 0-1000V [主電源，脈沖輸出時為峰值電壓]

脈沖頻率

40kHz

脈沖百分比

10-90％連續調節

a副電源功率

6kW/12kW

a 副電源輸出電壓

DC0-100V

滅弧時間

≤3μs

輸出電壓穩定率

主電源5% 副電源1%

冷卻方式

10-50kW風冷60-80kW水冷

使用環境

環境溫度 0-40℃
環境濕度 相對濕度≤85％
空氣清潔 無粉塵 無腐蝕性易燃性氣體 通風良好

冷卻水

清潔 不含礦物質及其他可溶性物質
水溫 20-40℃
壓力 0.15±0.05MPa

通訊方式

模擬/RS485/RS232

說明：電源的輸出特性可根據使用需要作相應調整